Бренд: —
Цена: 1297.00 RUB
Пособие «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» Юрия Борисовича Цветкова представляет собой систематизированное описание последовательности технологических процессов, применяемых в современной микроэлектронике. В книге подробно рассматриваются этапы производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления — от получения монокристаллических кремниевых пластин до ключевых операций оксидирования и изготовления структур.
Автор акцентирует внимание на взаимосвязи свойств материалов, конструктивных особенностей и электрических характеристик микроструктур. В издании приведены физико-химические модели процессов и методы анализа качества технологических операций. Пособие ориентировано на студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия», и будет полезно для углубленного изучения дисциплины.
Обратите внимание: выбор учебного пособия зависит от программы конкретной школы, требований учителя и индивидуальных особенностей ученика. Рекомендации сайта носят общий информационный характер; перед покупкой уточняйте актуальный перечень учебников у педагога или на сайте образовательного учреждения.
